Учёные Физического института им. П. Н. Лебедева (ФИАН) модернизировали электронный нанолитограф. Устройство используется для производства компонентов рентгеновской и дифракционной оптики. Об этом рассказал член‑корреспондент РАН Андрей Наумов. Базой стал электронный нанолитограф ZBA. Его разработали в 1980–1990-х годах в странах СЭВ. После распада СССР выпуск установок прекратился. Уже в 21 веке специалисты переработали ключевые узлы с учётом современных технологий. Читать далее