Учёные создали полировальную суспензию на основе очищенного диоксида кремния Учёные Нижегородского государственного университета имени Лобачевского запатентовали технологию глубокой очистки нанопорошка диоксида кремния, который используется при создании полировальных суспензий для производства микросхем. Разработка позволяет контролировать размер, форму и однородность частиц, а также снижать содержание примесей. Технологическая линия и регламент получения материала уже подготовлены, созданная суспензия направлена индустриальному партнёру для испытаний. Источник изображения: ИИ Gemini // https://gemini.google.com/ Патент на способ очистки аморфного диоксида кремния исследователи научно-исследовательской лаборатории инженерной химии НИИ химии Университета Лобачевского получили в октябре 2026 года. Технология предназначена для производства высокочистых абразивных наноматериалов, применяемых при химико-механической полировке полупроводниковых пластин. От свойств наночастиц зависят качество обработки поверхности и характеристики готовых электронных компонентов. Работа над проектом ведётся с 2024 года в рамках стратегического проекта «Новые материалы для микроэлектроники» федеральной программы «Приоритет-2030». Исследователи в значительной степени завершили подбор составов и условий синтеза. Сейчас основное внимание уделяется проверке стабильности технологии при масштабировании и испытаниям совместно с промышленным партнёром. По словам руководителя исследования, кандидата химических наук Ксении Отвагиной, разработанный подход позволяет комплексно управлять свойствами наночастиц и получать материал с заданными характеристиками. Это важно для полировальных суспензий, которые должны обеспечивать стабильную и точную обработку полупроводниковых пластин. Разработка призвана помочь российской микроэлектронике снизить зависимость от зарубежных поставщиков высокочистых материалов. В условиях ограничений поставок отрасли нужны отечественные аналоги, сопоставимые с импортными продуктами по качеству и стабильности характеристик. Следующий этап проекта — апробация суспензии у индустриального партнёра и подтверждение возможности масштабного производства.