Предыдущая моя статья была посвящена завершению аванпроекта по рентгеновскому (EUV) литографу с длиной волны 11,2 нм. Сегодня же я расскажу о разрабатываемом у нас сейчас классическом DUV-литографе для техпроцесса 130 нм.Напомню, что разработку предыдущей модели литографа для техпроцесса 350 нм ЗНТЦ завершил ещё в 2024-м году, и она будет поставляться заказчикам уже в 2026-м году.7 комментариев